DIN 50438-3-1984 半导体工艺材料的检验.用红外线吸收法测量硅中杂质含量.硼和磷

作者:标准资料网 时间:2024-05-03 11:23:34  浏览:8304   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforuseinsemiconductortechnology;determinationofinterstitialatomicboronandphosphoruscontentofsiliconbyinfraredabsorptionspectroscopy
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.用红外线吸收法测量硅中杂质含量.硼和磷
【标准号】:DIN50438-3-1984
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1984-02
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:半导体工程;硅;磷;吸收(波);吸收;硼;半导体工艺;材料;定义;试验;杂质
【英文主题词】:absorption;materials;semiconductorengineering;impurities;phosphorus;boron;definitions;testing;absorption(waves);semiconductortechnology;silicon
【摘要】:
【中国标准分类号】:H17;H82
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语