ISO 14237-2000 表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

作者:标准资料网时间:2024-05-17 03:47:14 浏览:8621 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Determinationofboronatomicconcentrationinsiliconusinguniformlydopedmaterials
【原文标准名称】:表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
【标准号】:ISO14237-2000
【标准状态】:作废
【国别】:国际
【发布日期】:2000-02
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:晶体;硼;掺杂剂;化学分析和试验;光谱测定法;精整;含量测定;硅
【英文主题词】:Boron;Chemicalanalysisandtesting;Crystals;Determinationofcontent;Dopingagents;Finishes;Silicon;Spectrometry
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesasecondary-ionmassspectrometricmethodforthedeterminationofboronatomicconcentrationinsingle-crystallinesiliconusinguniformlydopedmaterialscalibratedbyacertifiedreferencematerialimplantedwithboron.Thismethodisapplicabletouniformlydopedboronintheconcentrationrangefrom1×10atoms/cmto1×10atoms/cm.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:20P.;A4
【正文语种】:英语

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